سنسورهای نوسانی

یک نوسانگر در واقع یک سازه مکانیکی است که برای نوسان در یک فرکانس خاص به صورت تشدیدی، طراحی و ساخته می شود. تشدید کننده ها را می توان از محدوده ي خاصي از مواد تک بلوری با ابعاد و سایز میکرونی، با بهره گیری از فرآیندهای متعدد میکرومکانیکی تولید کرد. فرکانس های تشدیدی چنین نوسانگرهایی بسیار دقيق و بدون تغيير بوده و می توان از آنها به عنوان پایه ای براي اندازه گیری زمان و یا به عنوان المان حسگر یک سیستم نوسانی استفاده کرد.بر خلاف سایر ترانسدیوسرهای اندازه گیری فشار، ساخت چنین ابزاری پیچیده تر و پر زحمت تر است.

ساختار یک میکروسنسور نوسانی اندازه گیری فشار

یک ترانسمیتر فشار مبتنی بر سنسور نوسانی به گونه اي طراحی می شود که فرکانس طبیعی آن، تابعی از تغییر فشار اعمالی به سنسورِ ترانسمیتر باشد. اعمال فشار به نوسانگر، جرم سختی یا شکل تشدید کننده را تغییر می دهد. بنابراین باعث تغییر در فرکانس نوسان طبیعی آن می شود. رایج ترین و عادی ترین مکانیزم برای تغییر فرکانس طبیعی نوسانگر، اعمال یک کرنش در ساختار آن است. به این ترتیب نوسان گر به طور موثری به پیمانه کُرنش تشدیدی تبدیل می شود. کرنش اعمال شده، سختی نوسانگر را افزایش داده که در نتیجه باعث افزایش فرکانس طبیعی اش می شود. این مکانیزم، عموماً در سنسورهای نیرو، مبدل های فشار و شتاب سنج ها وجود دارد. سنسورهای نوسانی همچنین دارای مکانیزم تحريك شروع نوسان و مكانيزم آشکارساز هستند. فرکانس نوسان در خروجی سنسور حس شده و این سیگنال از طریق یک تقویت کننده (آمپلی فایر) فیدبک می شود.